上海阳极

1. 等离子体清洗设备简介

等离子体清洗是一种利用电离气体（等离子体）的高活性成分（如电子、离子、自由基等）去除表面有机污染物、氧化物或改善材料表面性能的技术。其核心设备通常包括：

等离子体发生器：产生高频（RF、微波等）或直流（DC）电场，电离气体。

真空腔体（或常压系统）：提供可控的反应环境。

供气系统：输送工艺气体（如O₂、Ar、N₂、CF₄等）。

控制系统：调节功率、气压、时间等参数。

核心部件：喷嘴与电极，直接影响等离子体的激发、传输和清洗效果。

2. 我们的产品：等离子清洗专用喷嘴与电极

我们专注于高性能等离子体清洗喷嘴和电极的设计与制造，为半导体、医疗器械、新能源等行业提供关键部件，确保高效、稳定的清洗工艺。

（1）等离子体清洗喷嘴

功能：精准引导等离子体束，控制清洗范围及均匀性。

我们的产品特点：

材料专家：针对客户需求选择材料

多样化结构：

1.直喷式：高能清洗，适用于局部去胶、刻蚀。

2.旋转式：均匀覆盖，适合曲面或大面积清洗。

3.多孔分散式：降低热负荷，保护敏感材料。

4.定制化服务：客户工艺需求优化设计。

典型应用：

半导体封装（去除焊盘氧化物）

显示屏制造（ITO玻璃清洗）

医用导管表面活化

（2）等离子体清洗电极

功能：高效激发等离子体，影响能量分布和清洗速率。

我们的产品优势：

高导电、耐高温材料：铜镀银电极：低阻抗，适合高频RF应用。

钨电极：耐溅射，适合高功率刻蚀。

结构：

1.针状电极：高精度定位，用于微细结构处理。

2.冷却选项：可选水冷或气冷设计，防止高温变形。

典型应用：

光伏电池（硅片表面清洗）

精密光学元件（镀膜前处理）

3D打印部件（去除残留粉末）

3. 为什么选择我们的喷嘴与电极？

✔ 高可靠性——材料严格筛选，确保长时间稳定工作。

✔ 定制化支持——根据客户工艺需求优化设计。